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0769-88030227
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設(shè)備：掃描電鏡-能譜儀Sigma 300
廠商：德國(guó)蔡司
用途：對(duì)材料表面形貌、結(jié)構(gòu)等進(jìn)行顯微分析，定位缺陷形狀與尺寸，為器件的失效分析提供技術(shù)支持。
技術(shù)指標(biāo)：
l 分辨率： 1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV
l 放大倍數(shù)：10-1,000,000×
l 加速電壓：調(diào)整范圍：0.02-30 kV（無(wú)需減速模式實(shí)現(xiàn)）
l 探針電流： 4pA-20nA （40nA&100nA可選）
l 低真空范圍： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）
l 樣品室： 365 mm（φ），275mm（h）
l 樣品臺(tái)：5軸優(yōu)中心全自動(dòng)
X=125mm
Y=125 mm
Z=50 mm
T=-10o-90o
R=360o 連續(xù)
地址：廣東省東莞市松山湖國(guó)家高新區(qū)總部一號(hào)12棟5樓
電話：0769-33882377
郵箱：nfjc@cwbg-nf.com
傳真：0769-23078230